En 1794, la Révolution a abattu non seulement l’église réfractaire, mais aussi l’église constitutionnelle (tous les lieux de culte ont été fermés le 23 novembre 1793). Une partie des conventionnels veut imposer en France un athéisme total, en lien avec le culte de la déesse Raison. Cependant, Robespierre et ses partisans y sont opposés. En effet, si Robespierre rejette avec violence la religion catholique et déteste le clergé, il n’en est pas moins profondément déiste, à l’instar d’une partie des philosophes des Lumières.
L’athéisme qui se développe en 1793 l’inquiète et l’irrite. Il pressent que cet athéisme risque de réduire l’œuvre de la Révolution au matérialisme le plus médiocre et le plus insignifiant. D’autre part, il comprend que le triomphe de l’athéisme ne suffit pas à sceller le succès de la déchristianisation. Il sait qu’on ne détruit bien que ce que l’on remplace. Les manifestations qui ont eu lieu devant plusieurs églises parisiennes après leur fermeture illustrent, selon lui, le besoin de religiosité inhérent à l’être humain.
Pour que la morale puisse régner correctement, il faut l’agrémenter de sanctions et de récompenses, qui doivent être dispensées aux hommes par une divinité.
Dans un discours prononcé à la Convention, Robespierre présente le lien entre les idées morales et les principes républicains. La morale est, selon lui, le fondement de la société. Pour que la morale puisse régner correctement, il faut l’agrémenter de sanctions et de récompenses, qui doivent être dispensées aux hommes par une divinité. Sans la crainte de la sanction ou l’espoir d’une vie meilleure après la mort, la plupart des hommes ne seraient mus que par l’amour des plaisirs ou la crainte de la douleur. Ce serait alors le triomphe de l’égoïsme et des intérêts les plus bas. Pour éviter de sombrer dans ce matérialisme destructeur, l’orateur demande à la Convention d’instaurer une nouvelle religion d’État : le culte de l’Être suprême. L’objectif est de proposer aux Français une religion de substitution au catholicisme, mais aussi une religion qui permettrait de consolider la Révolution et de cimenter la société autour de la République.
Ainsi, la Convention édicte un décret de quinze articles aux allures de catéchisme. L’article I énonce que le "peuple français reconnaît l’existence de l’Être suprême et l’immortalité de l’âme." L’article II précise l’obligation de lui rendre un culte. La première cérémonie religieuse en l’honneur de l’Être suprême a lieu le 8 juin 1794. Hasard du calendrier ? Cette année-là, le 8 juin est le jour de la fête de la Pentecôte. Les Parisiens assistent alors à une incroyable cérémonie pseudo-religieuse, avec Robespierre en grand prêtre ordonnateur.
Le programme de la journée a été réglé par le peintre David. Robespierre et les conventionnels, suivis par la population, processionnent dans Paris, suivant un parcours défini, des Tuileries jusqu’au Champs-de-Mars. Aux Tuileries, Robespierre prononce un discours entremêlant les champs sémantiques de l’exhortation politique, du sermon et de la prière. Puis il met le feu à un monstre en carton représentant l’athéisme. Au cours de la combustion, se dévoile progressivement une statue de la Sagesse. Après cette cérémonie, le cortège s’ébranle, citoyennes habillées de blanc, citoyens portant des branches de chêne, et enfants avec des corbeille de fleurs. Les chœurs de l’Opéra chantent l’hymne Père de l’Univers, suprême intelligence, composée pour l’occasion.
Au Champs-de-Mars, une colline artificielle a été édifiée. À son sommet, on trouve de nombreux symboles ésotériques : une grotte, des tombeaux étrusques, une pyramide, des candélabres, un temple grec et un autel. Arrivé sur place, le cortège fait le tour de la Montagne, les députés y grimpent par plusieurs sentiers escarpés. Ils sont suivis par les chœurs qui chantent encore une fois l’hymne composé par Théodore Désorgues. Au dernier couplet, une canonnade éclate, et les enfants répandent leurs fleurs.
Si la fête de l’Être suprême fut l’apothéose de Robespierre, elle contribua aussi à sa chute. Elle fut perçue par beaucoup de contemporains comme une parodie grotesque de culte religieux, entre cérémonie païenne et Fête-Dieu catholique. Accusé d’ambitionner la dictature, Robespierre fut arrêté et guillotiné cinquante jours plus tard. Le culte de l’Être suprême ne lui survécut pas. Aucune cérémonie ne fut plus jamais organisée en son honneur et il fut officiellement interdit par Napoléon en 1802.